S-100 (正、NPR負光阻 & PC-20i有機剝膜液)
使用特性:
1. 有機剝膜液:分解 + 溶解光阻,無溶膠回沾問題 (NMP屬溶解光阻方式,需IPA or Acetone Rinse,易有溶膠回沾問題)。
2. 去光阻,不腐蝕鋁金屬層;供正、負光阻:NPR Series,PC-20i使用。
配液:原液。
溫度:可不加熱 (安全);去光阻時間:>15-30分鐘 (需攪拌) or 隔水加熱 (35、45<60℃);去光阻時間:<5分鐘 (可攪拌)。
無需IPA or Acetone Rinse;直接快速水洗既可。
請注意:
1. S-100含有機溶劑,不適合運用於有藍膜 (PVC) 的制程。
2. 使用室溫或較低溫 (45℃) 可延長有機溶液S-100的壽命。
3. 容器請隨時加蓋以防止空氣中碳酸氣 (CO2+H2O) 中和鹼性S-100。
4. 儘量減少S-100內含水量以免造成OH‾含量過高而有腐蝕鋁金屬層機會。
5. 可採A Tank(for Stripping) & B Tank (for Rinse) 交替使用方式,以增進效率。
6. 一般正、負光阻 (含Novolak樹脂) 烘烤溫度若高於135℃樹脂&光敏劑會交聯不易去除。
包裝:5 Liters or 20 Liters/Bottle
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