PR-10 Positive Photoresist 正光阻
使用特性:
1. 液態樹脂,塗布時密著性優良,膠膜機械強度佳。
2. 樹脂膠膜在酸性蝕刻液中,抗蝕性良好;可耐高溫。
3. 可以VLSI-237 or D-35顯影與S-100剝膜,使用方便。
塗佈方式:旋轉式塗佈【1000 rpm→3um】(膜厚均勻性佳)。
適當軟烤溫度:65-85℃;時間:15分鐘。
曝光量:50-100 mj/cm2依基片反光度而定。
曝光後靜置:溫度:室溫;時間:5-15 分鐘。
顯影及剝膜方式:
1. 稀釋顯影液D-35 (1:4 or 1:5);VLSI-237原液顯影以及用S-100原液剝膜。
2. 顯影時間:1-3分鐘;剝膜時間:3-15分鐘;需DI Water Rinse Cycles。
適當硬烤溫度:100-150℃;時間:1-30分鐘。
相關物理化學性質:

成分辨識資料
純物質
中英文名稱:Novolak Resin、PGMEA Solution:樹脂25%、PGMEA75%溶液。 |
同義名稱: |
化學文摘社登記號碼 (CAS No.): |
危害物質成分(成分百分比): |
混合物
危害辨識資料
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健康危害效應:刺激皮膚及眼睛,食入嚴重刺激喉嚨及呼吸系統。 |
環境影響:對水生生物有毒性。 |
物理性及化學性危害:會燃燒。可與強酸氧化劑等物質發生反應。 |
特殊危害:無。 |
主要症狀:嚴重刺激感。 |
物品危害分類:3 (易燃性液體) |
急救措施
不同暴露途徑之急救方法:
吸入:將患者移至新鮮空氣處,必要時提供氧氣及CPR,立即就醫。
皮膚接觸:以肥皂及水清洗皮膚,立即就醫。
眼睛接觸:立即以清水沖洗15分鐘,立即就醫。
食入:飲用大量清水或二杯牛奶以稀釋胃中物質,勿催吐,立即就醫。 |
最重要症狀及危害效應:化學性灼傷,損害肝、腎臟及嘴、食道。 |
對急救人員之防護:穿著C及防護設備在安全區實施急救。 |
對醫師之提示:避免引發嘔吐。 |
滅火措施
適用滅火劑:水霚、化學乾粉、泡沫滅火器及二氧化碳滅火器。 |
滅火時可能遭遇之特殊危害:N/A |
特殊滅火程序:N/A |
消防人員之特殊防護設備:N/A |
洩漏處理方法
個人應注意事項:連身式防護衣、手套、工作靴。由受過訓練之人員處理。 |
環境注意事項:該區域進行通風換氣。 |
清理方法:以吸液綿擦拭洩漏溶液,並以清水沖洗乾淨。 |
安全處置與儲存方法
暴露預防措施
工程控制:使用抗腐蝕性之局部排氣裝置。 |
控制參數:
八小時日時量平均容許濃度 / 短時間時量平均容許濃度 / 最高容許濃度:N/A
生物指標:N/A |
個人防護設備:
呼吸防護:過濾有機物之呼吸防護具。
手部防護:橡膠或PVC材質之防滲手套。
眼睛防護:化學安全護目鏡,洗眼設備。
皮膚及身體防護:橡膠或氟化彈性體材質衣物。 |
衛生措施:工作後徹底洗手。 |
物理及化學性質
物質狀態:液態 |
形狀:黏液 Viscosity:10 cps |
顏色:淺咖啡色 |
氣味:輕微醚味 |
pH值:無 |
沸點 / 沸點範圍:146℃ |
分解溫度:N/A |
閃火點: ℉ 50 ℃
測試方法: 開杯 ˇ閉杯
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自燃溫度:N/A |
爆炸界限:最低=1.3%;最高=13.1% |
蒸氣壓:N/A |
蒸氣密度:N/A |
密度:1 (25℃) |
溶解度:N/A |
安定性及反應性
安定性:正常狀況下安定。 |
特殊狀況下可能之危害反應:無 |
應避免之狀況: 避免暴露於高溫狀態或過度加熱。 |
應避免之物質:強酸、強鹼、強氧化劑、酮類、醛類、鹵化物、壓克力。 |
危害分解物:無 |
毒性資料
急毒性:LD50 :2000-3000毫克/公斤。 |
局部效應:輕微刺激。 |
致敏感性:刺激敏感。 |
慢毒性或長期毒性:長期接觸造成肝臟及腎臟損害。 |
特殊效應:N/A。 |
生態資料
可能之環境影響/環境流佈:少量溶於水,排放至水中會毒害生物。
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廢棄處置方法
廢棄處置方法:
廢棄物由專業廠商處理。
參考政府相關法規。 |
運送資料
國際運送規定:貼易燃液體標籤
包裝等級:II
國際航運組織分級:3
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聯合國編號:N/A |
國內運送規定:道路交通安全規則第84條 |
特殊運送方法及注意事項:N/A。 |
法規資料
適用法規:
D.O.T.危害性物質表格:49 CFR 172.101 |
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