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PR-10  Positive Photoresist  正光阻

 使用特性:
1. 液態樹脂,塗布時密著性優良,膠膜機械強度佳。
2. 樹脂膠膜在酸性蝕刻液中,抗蝕性良好;可耐高溫。
3. 可以VLSI-237 or D-35顯影與S-100剝膜,使用方便。

 塗佈方式:旋轉式塗佈【1000 rpm→3um】(膜厚均勻性佳)。

 適當軟烤溫度:65-85℃;時間:15分鐘。

 曝光量:50-100 mj/cm2依基片反光度而定。

 曝光後靜置:溫度:室溫;時間:5-15 分鐘。

 顯影及剝膜方式:
1. 稀釋顯影液D-35 (1:4 or 1:5);VLSI-237原液顯影以及用S-100原液剝膜。
2. 顯影時間:1-3分鐘;剝膜時間:3-15分鐘;需DI Water Rinse Cycles。

 適當硬烤溫度:100-150℃;時間:1-30分鐘。

 相關物理化學性質:


 成分辨識資料

     純物質

中英文名稱:Novolak Resin、PGMEA Solution:樹脂25%、PGMEA75%溶液。

同義名稱:

化學文摘社登記號碼 (CAS No.):

危害物質成分(成分百分比):

     混合物

化學性質:

危害物質成分之中英文名稱

碳氟化合物(Fluoro Carbon)

危害物質分類及圖式

 

25%

 

     危害辨識資料







健康危害效應:刺激皮膚及眼睛,食入嚴重刺激喉嚨及呼吸系統。

環境影響:對水生生物有毒性。

物理性及化學性危害:會燃燒。可與強酸氧化劑等物質發生反應。

特殊危害:無。

主要症狀:嚴重刺激感。

物品危害分類:3 (易燃性液體)

     急救措施

不同暴露途徑之急救方法:
 吸入:將患者移至新鮮空氣處,必要時提供氧氣及CPR,立即就醫。
 皮膚接觸:以肥皂及水清洗皮膚,立即就醫。
 眼睛接觸:立即以清水沖洗15分鐘,立即就醫。
 食入:飲用大量清水或二杯牛奶以稀釋胃中物質,勿催吐,立即就醫。

最重要症狀及危害效應:化學性灼傷,損害肝、腎臟及嘴、食道。

對急救人員之防護:穿著C及防護設備在安全區實施急救。

對醫師之提示:避免引發嘔吐。

     滅火措施

適用滅火劑:水霚、化學乾粉、泡沫滅火器及二氧化碳滅火器。

滅火時可能遭遇之特殊危害:N/A

特殊滅火程序:N/A

消防人員之特殊防護設備:N/A

     洩漏處理方法

個人應注意事項:連身式防護衣、手套、工作靴。由受過訓練之人員處理。

環境注意事項:該區域進行通風換氣。

清理方法:以吸液綿擦拭洩漏溶液,並以清水沖洗乾淨。

     安全處置與儲存方法

處置:
 工作人員應適當受訓並告知此物質之危險性及安全使用法。
 少量操作,操作區與儲存區分開。
 使用過後務必鎖緊瓶蓋。
 使用過後,注重良好的清洗習慣。
 不要將污染的物質倒入原儲存桶。

儲存:
 請置於乾燥通風 (或有抽氣設備) 處,在室溫下儲存。
 遠離火源及熱源且避免日光直接照射。
 不可接觸水或水氣。

     暴露預防措施

工程控制:使用抗腐蝕性之局部排氣裝置。

控制參數:
 八小時日時量平均容許濃度 / 短時間時量平均容許濃度 / 最高容許濃度:N/A
 生物指標:N/A

個人防護設備:
 呼吸防護:過濾有機物之呼吸防護具。
 手部防護:橡膠或PVC材質之防滲手套。
 眼睛防護:化學安全護目鏡,洗眼設備。
 皮膚及身體防護:橡膠或氟化彈性體材質衣物。

衛生措施:工作後徹底洗手。

     物理及化學性質

物質狀態:液態

形狀:黏液 Viscosity:10 cps

顏色:淺咖啡色

氣味:輕微醚味

pH值:無

沸點 / 沸點範圍:146℃

分解溫度:N/A

閃火點:  ℉  50  ℃
測試方法:  開杯      ˇ閉杯

自燃溫度:N/A

爆炸界限:最低=1.3%;最高=13.1%

蒸氣壓:N/A

蒸氣密度:N/A

密度:1 (25℃)

溶解度:N/A

     安定性及反應性

安定性:正常狀況下安定。

特殊狀況下可能之危害反應:無

應避免之狀況: 避免暴露於高溫狀態或過度加熱。

應避免之物質:強酸、強鹼、強氧化劑、酮類、醛類、鹵化物、壓克力。

危害分解物:無

     毒性資料

急毒性:LD50 :2000-3000毫克/公斤。

局部效應:輕微刺激。

致敏感性:刺激敏感。

慢毒性或長期毒性:長期接觸造成肝臟及腎臟損害。

特殊效應:N/A。

     生態資料

可能之環境影響/環境流佈:少量溶於水,排放至水中會毒害生物。

     廢棄處置方法

廢棄處置方法:
 廢棄物由專業廠商處理。
 參考政府相關法規。

     運送資料

 國際運送規定:貼易燃液體標籤
 包裝等級:II
 國際航運組織分級:3

聯合國編號:N/A

國內運送規定:道路交通安全規則第84條

特殊運送方法及注意事項:N/A。

     法規資料

適用法規:
 D.O.T.危害性物質表格:49 CFR 172.101