DS-10 (PC-20i剝膜液 & NPR-10無機顯影液)
特性:水溶性顯影and剝膜液,分解樹脂方式,無溶膠回沾問
題 (溶劑NMP屬溶解樹脂方式,需IPA Or Acetone Rinse,有溶膠回沾問題) 不腐蝕鋁等金屬層;供PC-20i保護膜剝膜and NPR-10負光阻顯影使用。
配液:
1. 原液 - 剝膜液
2. 1:9稀釋顯影液 - NPR - 10D負光阻顯影液 (1份DS-10:9份DI水) (攪拌均勻即可)。
溫度:室溫顯影;剝膜溫度:室溫 - 45℃。
剝膜及顯影時間:30-300秒;(1-2um光阻剝膜時間:3-5min)。
清洗:無需IPA or Acetone Rinse;直接水洗即可。 (Need DI Water Rinse Cycles)
包裝 (Packages):5 Liters / Bottle or 20 Liters / Bottle。
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