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正光阻顯影液Positive Resist Developer VLSI-237 (Metal Ion Free有機顯影液)
(TMAH 2.38%;Normality:0.26N)

 特性:無金屬離子有機顯影液;Normality:0.26N (TMAH 2.38% +  Surfactant:光阻顯影品質優良)。

 適用光阻:各種正&負型光阻。

 配液:原液。

 溫度:室溫。

 清洗:直接快速水洗既可。

 請注意:VLSI-237屬有機鹼水溶液,不使用時容器請隨時加蓋隔絕空氣,以防止與空氣中碳酸氣中和。

 包裝 (Packages):5 or 20 Liters/Bottle。


 成分辨識資料

     純物質

中英文名稱:

同義名稱:

化學文摘社登記號碼 (CAS No.):

危害物質成分(成分百分比):

     混合物

化學性質:

危害物質成分之中英文名稱

碳氟化合物(Fluoro Carbon)

危害物質分類及圖式

銨類化合物 (TMAH)

約2.38%

8 (腐蝕性物質)

     危害辨識資料







健康危害效應:食入嚴重刺激消化系統。

環境影響:高濃度對水中生物有害。

物理性及化學性危害:具腐蝕性,可與強酸物質發生反應。

特殊危害:無。

主要症狀:刺激感、皮膚炎。

物品危害分類:8 (腐蝕性物質)

     急救措施

不同暴露途徑之急救方法:
 吸入:N/A。
 皮膚接觸:以肥皂及水清洗皮膚。
 眼睛接觸:立即以清水沖洗15分鐘,如有不適則立即就醫。
 食入:反覆飲用大量清水以稀釋胃中物質,勿催吐,立即就醫。

最重要症狀及危害效應:化學性灼傷。

對急救人員之防護:穿著C及防護設備在安全區實施急救。

對醫師之提示:避免引發嘔吐。

     滅火措施

適用滅火劑:N/A (此物不可燃)

滅火時可能遭遇之特殊危害:N/A。

特殊滅火程序:N/A。

消防人員之特殊防護設備:N/A。

     洩漏處理方法

個人應注意事項:連身式防護衣。由受過訓練之人員處理。

環境注意事項:移開會與洩漏物反應之化學品。

清理方法:以海綿、抹布擦拭洩漏溶液,並以清水沖洗乾淨。

     安全處置與儲存方法

處置:
 工作人員應適當受訓並告知此物質之危險性及安全使用法。
 使用過後務必鎖緊瓶蓋,並將容器詳加註明。
 使用過後,注重良好的清洗習慣。
 不要將污染的物質倒入原儲存桶。
 不要將污染的物質倒入原儲存桶。

儲存:
 請置於乾燥通風處,以室溫或近室溫儲存。
 避免日光直接照射。

     暴露預防措施

工程控制:使用抗腐蝕性通風系統及局部排氣裝置。

控制參數:
 八小時日時量平均容許濃度 / 短時間時量平均容許濃度 / 最高容許濃度:N/A。
 生物指標:N/A

個人防護設備:
 呼吸防護:呼吸防護具。
 手部防護:橡膠防滲手套。
 眼睛防護:化學安全護目鏡、護面罩、洗眼設備。
 皮膚及身體防護:連身式防護衣。

衛生措施:工作後迅速徹底洗手。

     物理及化學性質

物質狀態:液態

形狀:水溶液,無固定形狀。

顏色:無色

氣味:無味

pH值:13.6

沸點 / 沸點範圍:>100℃

分解溫度:不會分解

閃火點:   ℉   ℃ (此物不可燃)
測試方法:  開杯      閉杯

自燃溫度:不自燃

爆炸界限:不爆炸

蒸氣壓:15mmHg

蒸氣密度:

密度:1.004

溶解度:100%

     安定性及反應性

安定性:正常狀況下安定。

特殊狀況下可能之危害反應:

應避免之狀況:>100℃

應避免之物質:避免與強酸溶劑混合或與銨化合物接觸。

危害分解物:無。

     毒性資料

急毒性:N/A。

局部效應:N/A。

致敏感性:N/A。

慢毒性或長期毒性:長期接觸造成皮膚脫脂及皮膚炎。

特殊效應:N/A。

     生態資料

可能之環境影響/環境流佈:
 100%溶於水,高濃度排放至水中影響生物。
 排放到土壤導致土壤酸鹼性變質。

     廢棄處置方法

廢棄處置方法:
 廢棄物以酸將之中和成鹽類與水之中幸無毒,無環保公害之水溶液。
 參考政府相關法規。

     運送資料

 國際運送規定:包裝等級II
 國際航運組織分級:8

聯合國編號:N/A

國內運送規定:道路交通安全規則第84條

特殊運送方法及注意事項:N/A。

     法規資料

適用法規:
 危險物及有害物通識規則。
 事業廢棄物儲存清除處理方法及設施標準。