正光阻顯影液Positive Resist Developer VLSI-237 (Metal Ion Free有機顯影液) (TMAH 2.38%;Normality:0.26N)
特性:無金屬離子有機顯影液;Normality:0.26N (TMAH 2.38% + Surfactant:光阻顯影品質優良)。
適用光阻:各種正&負型光阻。
配液:原液。
溫度:室溫。
清洗:直接快速水洗既可。
請注意:VLSI-237屬有機鹼水溶液,不使用時容器請隨時加蓋隔絕空氣,以防止與空氣中碳酸氣中和。
包裝 (Packages):5 or 20 Liters/Bottle。
成分辨識資料
純物質
中英文名稱: |
同義名稱: |
化學文摘社登記號碼 (CAS No.): |
危害物質成分(成分百分比): |
混合物
危害辨識資料
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健康危害效應:食入嚴重刺激消化系統。 |
環境影響:高濃度對水中生物有害。 |
物理性及化學性危害:具腐蝕性,可與強酸物質發生反應。 |
特殊危害:無。 |
主要症狀:刺激感、皮膚炎。 |
物品危害分類:8 (腐蝕性物質) |
急救措施
不同暴露途徑之急救方法:
吸入:N/A。
皮膚接觸:以肥皂及水清洗皮膚。
眼睛接觸:立即以清水沖洗15分鐘,如有不適則立即就醫。
食入:反覆飲用大量清水以稀釋胃中物質,勿催吐,立即就醫。 |
最重要症狀及危害效應:化學性灼傷。 |
對急救人員之防護:穿著C及防護設備在安全區實施急救。 |
對醫師之提示:避免引發嘔吐。 |
滅火措施
適用滅火劑:N/A (此物不可燃) |
滅火時可能遭遇之特殊危害:N/A。 |
特殊滅火程序:N/A。 |
消防人員之特殊防護設備:N/A。 |
洩漏處理方法
個人應注意事項:連身式防護衣。由受過訓練之人員處理。 |
環境注意事項:移開會與洩漏物反應之化學品。 |
清理方法:以海綿、抹布擦拭洩漏溶液,並以清水沖洗乾淨。 |
安全處置與儲存方法
暴露預防措施
工程控制:使用抗腐蝕性通風系統及局部排氣裝置。 |
控制參數:
八小時日時量平均容許濃度 / 短時間時量平均容許濃度 / 最高容許濃度:N/A。
生物指標:N/A |
個人防護設備:
呼吸防護:呼吸防護具。
手部防護:橡膠防滲手套。
眼睛防護:化學安全護目鏡、護面罩、洗眼設備。
皮膚及身體防護:連身式防護衣。 |
衛生措施:工作後迅速徹底洗手。 |
物理及化學性質
物質狀態:液態 |
形狀:水溶液,無固定形狀。 |
顏色:無色 |
氣味:無味 |
pH值:13.6 |
沸點 / 沸點範圍:>100℃ |
分解溫度:不會分解 |
閃火點: ℉ ℃ (此物不可燃)
測試方法: 開杯 閉杯
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自燃溫度:不自燃 |
爆炸界限:不爆炸 |
蒸氣壓:15mmHg |
蒸氣密度: |
密度:1.004 |
溶解度:100% |
安定性及反應性
安定性:正常狀況下安定。 |
特殊狀況下可能之危害反應: |
應避免之狀況:>100℃ |
應避免之物質:避免與強酸溶劑混合或與銨化合物接觸。 |
危害分解物:無。 |
毒性資料
急毒性:N/A。 |
局部效應:N/A。 |
致敏感性:N/A。 |
慢毒性或長期毒性:長期接觸造成皮膚脫脂及皮膚炎。 |
特殊效應:N/A。 |
生態資料
可能之環境影響/環境流佈:
100%溶於水,高濃度排放至水中影響生物。
排放到土壤導致土壤酸鹼性變質。
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廢棄處置方法
廢棄處置方法:
廢棄物以酸將之中和成鹽類與水之中幸無毒,無環保公害之水溶液。
參考政府相關法規。 |
運送資料
國際運送規定:包裝等級II
國際航運組織分級:8
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聯合國編號:N/A |
國內運送規定:道路交通安全規則第84條 |
特殊運送方法及注意事項:N/A。 |
法規資料
適用法規:
危險物及有害物通識規則。
事業廢棄物儲存清除處理方法及設施標準。 |
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