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平行光源是光罩對準曝光機中最重要的組成要件，本公司所提供的平行曝光源皆是從國及日本等大廠直接進口。
Collimating UV light source is the most important element used in AG Mask Aligner system, the collimating UV light source that our company offers is importing from good reputation manufacturing in U.S.A. and Japan,…..etc.
平行光源技術規格 (Specification of collimating UV light source)
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近紫外光系統 |
深紫外光系統 |
| 平行曝光源尺寸 |
100mm - 500mm |
100mm - 200mm |
| 光偏移角度 |
2.6deg. - 1.3deg. |
2.6deg. - 2.3deg. |
標準系統的光均勻度
Standard Systems |
直徑 +/- 5%
正方 +/- 6% |
直徑 +/- 5%
正方 +/- 6% |
| 高均勻度系統的光均勻度 |
直徑 +/- 2.5%
正方 +/- 3.5% |
直徑 +/- 2.5%
正方 +/- 3.5% |
| 光譜 |
340nm - 450nm |
220nm - 260nm
240nm - 275nm |
光源強度在200W
曝光源尺寸直徑100mm |
10 mW/cm2 (UV365)
20 mW/cm2 (UV400) |
NA |
光源強度在350W
曝光源尺寸直徑100mm |
18 mW/cm2 (UV365)
36 mW/cm2 (UV400) |
NA |
光源強度在500W
曝光源尺寸直徑100mm |
25 mW/cm2 (UV365)
50 mW/cm2 (UV400) |
10 - 12 mW/cm2 (DUV220)
16 - 18 mW/cm2 (DUV260) |
光源強度在1000W
曝光源尺寸直徑100mm |
50 mW/cm2 (UV365)
100 mW/cm2 (UV400) |
20 - 24 mW/cm2 (DUV220)
30 - 34 mW/cm2 (DUV260) |
強度2000W
直徑100mm |
100 mW/cm2 (UV365)
200 mW/cm2 (UV400) |
40 - 44 mW/cm2 (DUV220)
60 - 64 mW/cm2 (DUV260) |
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