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科毅科技亦提供光罩對準曝光機相關配件與耗材。
防震桌
提供穩定無震的空間，如此曝光機在高倍率放大的對位情況下對位系統不會有影像振動的情形。
To provide a stable and vibration-proof environment , so that Mask Aligner could be vibration proof even under the high image magnification rate.
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對準夾製具
科毅科技的對準夾製具也可以被整合到其他各大長廠牌的光罩對準曝光機。
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汞燈
提供各式大小瓦特數不同的高壓汞燈給大曝光機品牌使用。
近紫外光短電弧燈泡：200W , 350W, 500W, 1,000W, 1,600, 2,000, 3,500及5,000W等型式 (Near UV Short Arc Lamps: 200W, 350W, 500W, 1,000W, 1,600, 2,000, 3,500 and 5,000W Versions)。
中紫外光短電弧燈泡：350W, 500W, 1,000W及2,000W等型式 (Mid UV Short Arc Lamps: 350W, 500W, 1,000W and 2,000W Versions)。
深紫外光短電弧燈泡：350W, 500W, 1,000W及2,000W等型式 (Deep UV Short Arc Lamps: 350W, 500W, 1,000W and 2,000W Versions)。
深紫外光矩陣燈泡 (Deep UV Grid Lamps)。
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