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中古機台

桌上型-Refurbished Coater Cee-100

型號:Cee-100

適用晶片:最大可用晶片:200mm Round
馬達:AC Servo Motor新品馬達
主軸轉速(Spin Range):0-6000RPM(等速時±5rpm)
配方模組:30組
旋轉時間設定:0.1~999.9秒
配方步序:每模組可設定30段步序
操控方式:中文彩色觸控面板
操作方式:手動直接輸入
控制系統:採用PLC
入料方式:手動給料
液體種類:光阻劑、溶劑
真空幫浦:一組
吸盤規格:鋁製吸盤精密研模陽極保護
真空滲液保護:有,間接式防護設計
真空簡檢知:有(可數位設計真空值kpa下限保護)
電源:單相220V

正常使用下保固3個月