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目前廣受歡迎最有效率之顯微鏡裝置為雙CCD系統，配合雙顯示器作對位之監測比對。
雙CCD顯微鏡系統特色
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45x-300x或90x-600x之連續可調式獨立倍率調整及聚焦控制【如圖式選配項目：環形光源 (側光源) 照明系統】。
45x-300x or 90x-600x continuously adjustable independent magnification and focus control (shown with option: ring illuminators) |
兩轉角菱鏡 (Prism Block) 之間距約只有1.8cm。
The separation distance in between two Prism Block is around 1.8cm only |
雙CCD顯微鏡系統特色 A : 具X、Y微調功能鈕
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| 具X、Y微調功能鈕，可隨時tuning到最理想之位置 |
有X、Y搖桿機構可將系統任意移動並觀察到光罩及基材上的任何位 |
雙CCD顯微鏡系統特色 B : 對超小基材之客戶
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| 具有針對超小基材之客戶（如LED、LD、砷化鎵等，2”及3”甚至其破片）的雙稜鏡機構可縮小對位間距至1.5㎝以內。 |
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