蝕刻機

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蝕刻機

商品編號:AGCE

水平式(枚頁式)蝕刻機

蝕刻機蝕刻機

水平式(枚頁式)高速顯影 / 蝕刻機 / 去光阻 / 清洗機 (Conveyor Type Developer/Etcher/Stripper/Cleaner)

蝕刻是將材料使用化學反應或物理作用後移除的技術,指通過曝光製版、顯影後,將欲蝕刻部分的保護膜去除,使之於蝕刻時接觸化學溶液以形成凹凸或鏤空成型的效果。在半導體製程中,蝕刻機是不可或缺的設備之一,亦廣泛應用於航空、機械、化學工業中電子薄片零件精密蝕刻產品的加工。

科毅科技為追求本公司蝕刻機之優良品質,不斷研發創新微影製程等技術,設立 class 1000 等級無塵室,使我們所生產之設備經過更嚴格的測試,以提供國內外廠商更精密優良的蝕刻機,以期提供客戶高效率、高產能、高良率的蝕刻機設備。

應用範圍/適用尺寸
半導體/微機電/發光二極體/被動元件(Semiconductor/MEMS/LED/Passive Component):2" ~12"
觸控面板/顯示器(Touch Panel/Display Panel):550mm~650mm

設備概要
產速:0.1 ~ 3 m/ min
板面尺寸:100 mm X 100 mm ~ 550 mm X 650 mm
可處理板厚:0.3 ~ 2 mm
含承水盤,蝕刻槽加熱冷卻溫控
Chemical槽採水刀沖蝕
Chemical槽配置加熱及冷卻溫控系統
Chemical槽附兩個藥液槽,更槽時可作切換,基本上是以計算片數來決定切換的時間
水洗採三道溢流水洗
水洗#2 配備導電度控制器偵測水質
蜂鳴器加裝可變電阻以便調整音量
蝕刻機底部附承水盤
具備50組生產參數記憶,作業員可選擇參數組別,工程師可輸入密碼更改參數設定值
具省水省電功能

基本流程圖
蝕刻機