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晶圓清洗機

商品編號:SWT

晶圓清洗機(手動-桌上型)

晶圓清洗機(Spin Wash)

MODEL:SWT(手動-桌上型)
W 400mm x D 450mm x H 420mm

設備概要:適用尺寸:2”- 6”Wafer基材。
基本規格:

  • 外觀材質:P.P.以上耐異丙醇、丙酮溶濟材質。
  • 吸盤:1組。
  • 噴嘴:3(異丙醇 X1,丙酮 X 1,空噴嘴 X1) 。
  • 排風系統。
  • 排廢液系統。
  • 馬達:AC伺服馬達(轉速:10-6000 RPM)。
  • 固定式噴嘴:1(N2)。
  • 開蓋方式:手動上掀式 。
  • 噴嘴頭採塑膠材質,耐ACE。
  • 排放口濾網設計。
  • 壓力桶設置低水位sensor、自動補液。
  • 噴嘴上方設計安全裝置,避免入員任意調整。
  • 設定安全裝置,生產中開蓋會自動停止。