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Design Rules for DXF Format
Basics:
送來的圖檔請包含以下資訊：
標示最小線寬(CD)及位置
說明或標示Clear / Dark
圖形為Chrome DOWN或UP
圖面位於光罩中心或偏心量
光罩名稱(包含Device Name及Layer Name)若不指定， 則以檔名及圖層名稱命名
Reminding ( 注意事項 )
以網路傳檔，最好先壓縮以避免圖檔出錯。
圖形不能放在圖層”0”。
圖層命名不能用中文或特殊字元。
圖層命名最長為8個字元。
圖面單位需統一, 並告知單位為何 ?
必須為Pline、Circle或Text。
可用Pedit將複雜的形狀連起來形成Pline。
最好使用無線寬的pline。
每一個圖形最多只能有128,000個頂點。
圖形本身不能交錯。
不能有單獨的線或點存在。
兩個圖形不能共用邊界。
內圈圖形必須完全被外圈圖形包圍。
有外包內的情形要切開，或者分成不同的圖層。
清除所有不必要的圖層、Block，以減少檔案大小。
不同的光罩放在不同的圖層。
圖塊(BLOCK)與圖層名字不能相同。
不能從別的檔案或圖層插入圖塊。
不能使用、縮放(scale)或鏡射(mirror) block。
旋轉BLOCK必須為90°的整數倍。
若需使用有線寬的pline，同一條線線寬必須一致。
不能用Spline。
有線寬的pline不能封閉。
Text必須為標準形式(不能斜體)，只能用英文字母(大小寫皆可)、阿拉伯數字、空白以及鍵盤上所有的符號。
Text最好放在不同圖層。
Meet the Customer Requirement
Data Preparation
Mask Order Form
Data Format
Photomasks Orientation and Tone
Photomasks Orientation and Tone
Sometimes there will more than layer for a mask. You should do logical operations
on structures from different layers.
Currently the operations CUT, OR and XOR are supported.
Design Rules for DXF(1)
DXF format is not WYSIWYG. One should be carefully to process DXF file.
All the entities must be “Closed” PLINE. (Fig. 1) .
Entity itself can not cross. (Fig. 2) |
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Design Rules for DXF(2) - Island
Method 1:
Use different layer for entity inside another
entity. (Fig. 3)
Method 2:
Draw two separated entity and connect
together (Fig. 4)
Method 3:
Draw into interior of the outer polygon and
out again via the same path. (Fig. 5)
  
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