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塗佈機

商品編號:AGS3012A

落地型薄膜控制旋轉塗佈機

手動塗佈機(Manual Spin Coater)

MODEL:AGS-3012A
落地型薄膜控制旋轉塗佈機
塗佈範圍:2”~ 12”L 1000mm x D 800mm x H 1800mm

設備概要:
適用尺寸:2”~ 12”Wafer基材。

基本規格:

  • 外觀材質:PP 板組合焊接而成,可以耐酸鹼侵蝕。
  • 操作盆罩:SUS製,圓盆型設計。
  • 盆罩掀蓋:分離式透明 PVC 上蓋。
  • 吸盤規格:一組鋁製吸盤精密研模陽極保護。
  • 操作方式:手動直接輸入。
  • 入料方式:手動給料。
  • 液體種類:光阻劑,溶劑。
  • 馬達:AC Servo Motor(轉速:10~6000 RPM)。
  • 含真空幫浦 (附 PP 防塵外罩)。
  • 真空滲液保護:有,間接式防護設計。
  • 真空簡檢知:有(可數位設計真空值 kpa 下限保護)。
  • 保護裝置:有。
  • 保護制御:有一本裝置的全部狀態,異常檢出。
  • 電控系統:-軟體:PLC。
  • 使用操作介面:中文彩色觸控面板。
  • 配方模組:30組配方設定。
  • 段數設定:每一配方模組均設30段段數。