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塗佈機

商品編號:AGS01A04A

半自動塗佈機

半自動塗佈機(Semi Spin Coater)

MODEL:AGS-01A ~ AGS-04A

設備概要:
應用範圍:適用基板尺寸:2”-6”Round Wafer基材。

基本規格:

  • 外觀材質:本體以SUS 304亮面板材質組合而成。
  • 設備骨架:烤漆骨架組合,結構堅固。
  • 盆罩:PP製 Cup 參層式盆罩結構。
  • 吸盤:鋁製吸盤陽極硬化處理,具抗酸鹼功能,吸盤表面平坦
  • 排風系統:三件式盆罩間接式抽風設計,有效穩定空氣擾流,並同時減低異味可避免背面光阻殘留。
  • 排液系統。
  • 馬達:AC Servo Motor(轉速:10 ~ 6000 RPM)。
  • 真空幫浦:無油式中型真空壓力泵浦。
  • 機台安全保護。
  • 電控系統:-軟體:PLC可程式自動化控制器。
  • 使用操作介面:Color Touch Screen,PLC介面整合HMI。
  • 配方模組:30組配方設定。
  • 段數設定:每一配方模組均設30段段數,可設定加速度及時間控制。
  • 密碼設定:可依權限設定密碼保護。

操作程序:人工置放對位中心轉盤上 -> 啟動 -> 真空吸附 -> 基板吸附於轉盤上 -> 旋轉開啟 -> 低轉速 -> 中轉速 -> 高轉速 -> 旋轉停止 -> 破真空 -> 人工取件。

選配功能:

  1. 光阻自動供料系統。
  2. 自動供料擺臂。
  3. 熱板(HOT PLATE)。
  4. 背洗裝置。
  5. 廢液回收桶裝置。