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桌上型-可程式旋轉塗佈機(8吋)

商品編號:AGS1006T

桌上型-可程式旋轉塗佈機(6吋)

桌上型-可程式旋轉塗佈機(Manual Spin Coater)

MODEL:AGS-1006T
桌上型-可程式旋轉塗佈機

設備概要:
適用尺寸:2”~ 6”Wafer基材。

基本規格:

  • Demension:530 X 600 Xmm
  • 外觀材質:PP 板組合焊接而成,可以耐酸鹼侵蝕。
  • 操作盆罩:SUS製,圓盆型設計。
  • 控制面板:按鍵旋鈕式。
  • 吸盤規格:一組鋁製吸盤精密研模陽極保護。
  • 操作方式:手動直接輸入。
  • 入料方式:手動給料。
  • 液體種類:光阻劑、溶劑。
  • 馬達:AC Servo Motor(轉速:10 ~ 5000 RPM)。
  • 含真空幫浦 (附 PP 防塵外罩)。
  • 真空滲液保護:有,間接式防護設計。
  • 真空簡檢知:有(可數位設計真空值 kpa 下限保護)。
  • 保護裝置:有。
  • 保護制御:有一本裝置的全部狀態,異常檢出。
  • 控制系統:-軟體:PLC。
  • 真空表頭:二組視窗,可顯示設定值與實際值。
  • 使用操作介面:中文彩色觸控面板。
  • 配方模組:100組配方設定。
  • 段方步序:每一配方模組均設30段步序。
  • 操控方式:7吋中文彩色觸控人機介面系統,附有繁體、簡體中文、英文操作介面,並有主軸轉速曲線圖。
  • 電源:單相220V,10A。
  • 附操作手冊一份